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Hennessy,microprocessor

来源:整理 时间:2022-04-05 04:43:15 编辑:手机 手机版

都说半导体制造工艺复杂,但具体的芯片生产流程是怎样的?

都说半导体制造工艺复杂,但具体的芯片生产流程是怎样的

半导体从业者对芯片都有一定程度的了解,但我相信除了在晶圆厂的人外,很少有人对工艺流程有深入的了解。在这里我来给大家做一个科普。首先要做一些基本常识科普:半导体元件制造过程可分为前段制程(包括晶圆处理制程、晶圆针测制程);还有后段(包括封装、测试制程)。零、概念理解 所谓晶圆处理制程,主要工作为在硅晶圆上制作电路与电子元件(如电晶体、电容体、逻辑闸等),为上述各制程中所需技术最复杂且资金投入最多的过程 ,以微处理器(Microprocessor)为例,其所需处理步骤可达数百道,而其所需加工机台先进且昂贵,动辄数千万一台,其所需制造环境为为一温度、湿度与 含尘(Particle)均需控制的无尘室(Clean-Room),虽然详细的处理程序是随著产品种类与所使用的技术有关;不过其基本处理步骤通常是晶圆先经过适 当的清洗(Cleaning)之後,接著进行氧化(Oxidation)及沈积,最後进行微影、蚀刻及离子植入等反覆步骤,以完成晶圆上电路的加工与制作。

晶圆针测制程则是在制造好晶圆之后,晶圆上即形成一格格的小格 ,我们称之为晶方或是晶粒(Die),在一般情形下,同一片晶圆上皆制作相同的晶片,但是也有可能在同一片晶圆 上制作不同规格的产品;这些晶圆必须通过晶片允收测试,晶粒将会一一经过针测(Probe)仪器以测试其电气特性, 而不合格的的晶粒将会被标上记号(Ink Dot),此程序即 称之为晶圆针测制程(Wafer Probe)。

然後晶圆将依晶粒 为单位分割成一粒粒独立的晶粒。 IC封装制程(Packaging):利用塑膠或陶瓷包裝晶粒与配线以成集成电路;目的是为了制造出所生产的电路的保护层,避免电路受到机械性刮伤或是高温破坏。而后段的测试则是对封装好的芯片进行测试,以保证其良率。因为芯片是高精度的产品,因此对制造环境有很高的要求。

下面对主要的制程进逐一讲解:一、硅晶圆材料晶圆是制作硅半导体IC所用之硅晶片,状似圆形,故称晶圆。材料是「硅」, IC(Integrated Circuit)厂用的硅晶片即为硅晶体,因为整片的硅晶片是单一完整的晶体,故又称为单晶体。但在整体固态晶体内,众多小晶体的方向不相,则为复晶体(或多晶体)。生成单晶体或多晶体与晶体生长时的温度,速率与杂质都有关系。

二、光学显影光学显影是在感光胶上经过曝光和显影的程序,把光罩上的图形转换到感光胶下面的薄膜层或硅晶上。光学显影主要包含了感光胶涂布、烘烤、光罩对准、 曝光和显影等程序。关键技术参数:最小可分辨图形尺寸Lmin(nm) 、聚焦深度DOF曝光方式:紫外线、X射线、电子束、极紫外光三、蚀刻技术蚀刻技术(Etching Technology)是将材料使用化学反应物理撞击作用而移除的技术。

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